- [常見(jiàn)問(wèn)題]半導(dǎo)體拋光中銅拋光液和鎢拋光液的區(qū)別[
2023-08-18 16:58
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常用的半導(dǎo)體拋光液,按拋光對(duì)象的不同分W鎢拋光液、CU銅拋光液、氧化層拋光液、STI拋光液等。其中銅拋光液slurry主要應(yīng)用于 130nm 及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)邏輯芯片的制造工藝,而鎢拋光液W slurry則大量應(yīng)用于存儲(chǔ)芯片制造工藝,在邏輯芯片中用量較少。 銅拋光液,主要由腐蝕劑、成膜劑和納米磨料組成。腐蝕劑用來(lái)腐蝕溶解銅表面,成膜劑用于形成銅表面的鈍化膜,鈍化膜的形成可以保護(hù)腐蝕劑的進(jìn)一步腐蝕,并可有效地降低金屬表面硬度。除此之外,CMP拋光液中經(jīng)常添加一些化學(xué)試劑以調(diào)節(jié)PH值,為拋光過(guò)程
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- [吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子常見(jiàn)的CMP研磨液[
2023-02-27 16:15
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CMP 化學(xué)機(jī)械拋光液slurry的主要成分包括:磨料、添加劑和分散液。添加劑的種類(lèi)根據(jù)產(chǎn)品適用場(chǎng)景也有所不同,分金屬拋光液和非金屬拋光液。金屬CMP拋光液含:金屬絡(luò)合劑、腐蝕抑制劑等。非金屬CMP拋光液含:各種調(diào)節(jié)去除速率和選擇比的添加劑。 根據(jù)拋光對(duì)象不同,拋光液可分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等類(lèi)別。其中,銅拋光液和鎢拋光液主要用于邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片制造過(guò)程,在10nm 及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)中,鈷將部分代替銅作為導(dǎo)線;硅拋光液主要用于硅晶圓初步加工過(guò)程中。吉致電子常見(jiàn)的CMP研
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- [常見(jiàn)問(wèn)題]半導(dǎo)體拋光液是什么?[
2022-09-15 15:51
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半導(dǎo)體拋光液是什么?簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)拋光液是通過(guò)化學(xué)機(jī)械反應(yīng),去除半導(dǎo)體工件表面的氧化層,達(dá)到光潔度和高平坦要求的化學(xué)液體。 半導(dǎo)體CMP拋光液是超細(xì)固體研磨材料和化學(xué)添加劑的混合物,制備成均勻分散的懸浮液,起到研磨、潤(rùn)滑和腐蝕溶解等作用,主要原料包括研磨顆粒、PH調(diào)節(jié)劑、氧化劑和分散劑等。拋光液的分類(lèi):根據(jù)酸堿性可以分為:酸性拋光液和堿性拋光液、中性拋光液。根據(jù)拋磨材質(zhì)可以分為:金屬拋光液和非金屬拋光液。根據(jù)拋光對(duì)象不同,拋光液可分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等。其中,銅拋光液和鎢拋
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