半導體拋光液是什么?
半導體拋光液是什么?簡單來說拋光液是通過化學機械反應,去除半導體工件表面的氧化層,達到光潔度和高平坦要求的化學液體。
半導體CMP拋光液是超細固體研磨材料和化學添加劑的混合物,制備成均勻分散的懸浮液,起到研磨、潤滑和腐蝕溶解等作用,主要原料包括研磨顆粒、PH調(diào)節(jié)劑、氧化劑和分散劑等。
拋光液的分類:
根據(jù)酸堿性可以分為:酸性拋光液和堿性拋光液、中性拋光液。
根據(jù)拋磨材質(zhì)可以分為:金屬拋光液和非金屬拋光液。
根據(jù)拋光對象不同,拋光液可分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等。
其中,銅拋光液和鎢拋光液主要用于邏輯芯片和存儲芯片制造過程。在 10nm 及以下技術節(jié)點中,鈷將部分代替銅作為導線,硅拋光液主要用于硅晶圓初步加工過程中。
受益于晶圓廠擴建潮、技術迭代以及國產(chǎn)替代全面提速驅(qū)動,CMP拋光液市場國內(nèi)增速遠超國際。吉致電子科技致力于研發(fā)生產(chǎn)更高性價比的半導體拋光液產(chǎn)品,擁有多位15年以上經(jīng)驗研發(fā)工程師,多項國家專利技術。努力實現(xiàn)專用化、定制化的優(yōu)質(zhì)CMP拋光液產(chǎn)品。
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