目前，藍(lán)寶石基片是LED工業(yè)的首選襯底，藍(lán)寶石表面的質(zhì)量對(duì)LED器件的質(zhì)量和性能有著非常重要的影響。因此，在生產(chǎn)藍(lán)寶石基片時(shí)，對(duì)后一道工序拋光加工工序有很高的要求，要求藍(lán)寶石基片的表面光滑、無缺陷，這也是藍(lán)寶石襯底重要的制程。但是，由于藍(lán)寶石晶體材料硬度高，脆性大，屬于典型的難加工材料之一。因此，如何讓拋光加工滿足日益增長的嚴(yán)格要求長期以來備受關(guān)注。如今的化學(xué)機(jī)械拋光是一可實(shí)現(xiàn)全局平坦化的拋光方法，而且它的成本相對(duì)較低，也是迄今為止可以在藍(lán)寶石生產(chǎn)中大規(guī)模應(yīng)用的拋光方法。硅溶膠為納米的二氧化硅顆粒，在水中或溶劑中的分散液，屬于膠體溶液，由于它價(jià)格實(shí)惠，分散穩(wěn)定性性較好，因此廣泛應(yīng)用于集成電路化學(xué)機(jī)械拋光液中。

由于科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，人們?cè)谒{(lán)寶石拋光液的研究方面取得了較大進(jìn)展，硅溶膠拋光液在更廣泛的領(lǐng)域內(nèi)得到應(yīng)用，美國新澤西州立大學(xué)研究了水相介質(zhì)對(duì)藍(lán)寶石拋光的重要性，提出了在以氧化鋁為磨料的拋光液中，藍(lán)寶石表面會(huì)形成一層硬度較小、易于去除的水化層，從而加快去除速率，保證了表面質(zhì)量。

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『拋光皮』

拋光皮種類：阻尼布拋光皮，聚氨酯拋光皮，白磨皮拋光皮 

『拋光液』

拋光液種類：氧化硅拋光液，氧化鋁拋光液，金剛石拋光液 

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