CMP 化學(xué)機(jī)械拋光液/研磨液slurry的主要成分包括：磨料、添加劑和分散液。添加劑的種類根據(jù)產(chǎn)品適用場(chǎng)景也有所不同，分金屬拋光液和非金屬拋光液。金屬CMP拋光液含：金屬絡(luò)合劑、腐蝕抑制劑等。非金屬CMP拋光液含：各種調(diào)節(jié)去除速率和選擇比的添加劑。

  根據(jù)研磨拋光對(duì)象不同，拋光液/研磨液可分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等類別。其中，銅拋光液和鎢拋光液主要用于邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片制造過(guò)程，在10nm 及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)中，鈷將部分代替銅作為導(dǎo)線；硅拋光液主要用于硅晶圓初步加工過(guò)程中。

吉致電子常見的CMP研磨液有：

　?。?）氧化鋁研磨液:Al₂O₃研磨液 適用于大部分工件，拋磨速率快，減薄下尺寸強(qiáng)，成本較金剛石低，可節(jié)省成本提高生產(chǎn)效率。

　?。?）金剛石研磨液:金剛石研磨液高效、方便、無(wú)污染、不腐蝕。其中的金剛石晶粒硬度好，粒度均勻，對(duì)高硬質(zhì)材料磨削效果好。

　?。?）藍(lán)寶石研磨液:Sapphire Slurry作為藍(lán)寶石襯底的研磨和減薄，液藍(lán)寶石A向拋光液/藍(lán)寶石C向拋光液利用聚晶金剛石的特性，在研磨拋光處理過(guò)程中可以保持高切削的效率，同時(shí)不易對(duì)工件之間產(chǎn)生嚴(yán)重劃傷。

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