吉致電子藍寶石研磨液CMP減薄工藝
藍寶石研磨液/拋光液,是通過化學機械拋光技術(CMP Chemical Mechanical Polishing ) 用于藍寶石襯底、窗口片的研磨和減薄,達到減薄尺寸、表面平坦化效果。
吉致電子藍寶石研磨液由優(yōu)質(zhì)聚晶金剛石微粉、復合分散劑和分散介質(zhì)組成。藍寶石研磨液利用聚晶金剛石的特性,在研磨拋光過程中保持高切削效率的同時不易對工件產(chǎn)生劃傷。
吉致電子藍寶石研磨液、CMP拋光液可以應用在藍寶石襯底的研磨和減薄、光學晶體、硬質(zhì)玻璃和晶體、超硬陶瓷和合金、磁頭、硬盤、芯片等領域的研磨和拋光。
吉致電子藍寶石研磨液在藍寶石襯底方面的應用:
1. 藍寶石外延片生產(chǎn)前襯底的雙面研磨:藍寶石研磨液研磨一道或多道,根據(jù)最終藍寶石襯底研磨要求用6um、3um、1um不等的研磨液。
2. 藍寶石LED芯片背面減薄
為了解決藍寶石的散熱問題,需要將藍寶石襯底的厚度減薄,從450nm左右減至100nm左右。主要有兩步:先在橫向減薄機上,用50-70um的砂輪研磨磨去300um左右的厚度;再用拋光機針對不同的研磨盤(錫/銅盤),采用合適的藍寶石研磨液(水/油性)對芯片背面拋光,從150nm減至100nm左右。
本文由無錫吉致電子科技原創(chuàng),版權歸無錫吉致電子科技,未經(jīng)允許,不得轉(zhuǎn)載,轉(zhuǎn)載需附出處及原文鏈接。http://m.5minute-ebook.com/
無錫吉致電子科技有限公司
聯(lián)系電話:17706168670
郵編:214000
地址:江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路19-2
相關資訊
最新產(chǎn)品
同類文章排行
- 吉致電子榮獲第四屆亞太碳化硅及相關材料國際會議“優(yōu)秀組織獎”
- 吉致電子科技碳化硅研磨液的作用
- 吉致電子手機中框拋光液及智能穿戴設備表面處理
- 藍寶石襯底研磨用什么拋光液
- 半導體先進制程PAD拋光墊國產(chǎn)替代進行中
- CMP在半導體晶圓制程中的作用
- TSV拋光液---半導體3D封裝技術Slurry
- 藍寶石窗口平面加工--藍寶石研磨液
- 什么是OX研磨液?吉致電子氧化層拋光液性能有哪些?
- 半導體行業(yè)CMP化學機械平坦化工藝Slurry