吉致資訊第151期：生活中離不開(kāi)的“濾波器”

我們生活中離不開(kāi)一樣潛在的東西，那就是濾波器，我們不管是wifi、藍(lán)牙、手機(jī)的2g/3g/4g/5g等的信號(hào)發(fā)射和接受都需要濾波器，一臺(tái)小小的手機(jī)就需要數(shù)十個(gè)濾波器的元器件，而濾波器的主要性能就是性能，而平坦度直接影響其性能，所以在生產(chǎn)濾波器的過(guò)程中會(huì)進(jìn)行CMP化學(xué)機(jī)械拋光，其需要用到拋光液slurry，目前這一耗材長(zhǎng)期受國(guó)外“卡脖子”，國(guó)外企業(yè)說(shuō)斷供就斷供，而目前國(guó)內(nèi)無(wú)錫吉致電子科技有限公司聘請(qǐng)國(guó)外留學(xué)歸來(lái)博士，經(jīng)數(shù)年研發(fā)以及驗(yàn)證，現(xiàn)已開(kāi)發(fā)的拋光液slurry完全可以替代卡博特的產(chǎn)品，其性能幾乎不遜色cabot的產(chǎn)品，且交期時(shí)間短、價(jià)格優(yōu)勢(shì)明顯，目前已在多家企業(yè)開(kāi)始批量投產(chǎn)。

聲表面波濾波器的特點(diǎn)是：（1）頻率響應(yīng)平坦，不平坦度僅為±0.3-±0.5dB，群時(shí)延±30-±50ns。（2）SAWF矩形系數(shù)好，帶外抑制可達(dá)40dB以上。（3）插入損耗雖高達(dá)25-30dB，但可以用放大器補(bǔ)償電平損失。聲表面波濾波器包括聲表面波電視圖像中頻濾波器、電視伴音濾波器、電視頻道殘留邊帶濾波器。聲表面波濾波器的典型技術(shù)指標(biāo)如下表所示。

聲表面波—SAW（SurfaceAcousticWave）就是在壓電基片材料表面產(chǎn)生和傳播、且振幅隨深入基片材料的深度增加而迅速減少的彈性波。SAW濾波器的基本結(jié)構(gòu)是在具有壓電特性的基片材料拋光面上制作兩個(gè)聲電換能器——叉指換能器（IDT）。它采用半導(dǎo)體集成電路的平面工藝，在壓電基片表面蒸鍍一定厚度的鋁膜，把設(shè)計(jì)好的兩個(gè)IDT的掩膜圖案，利用光刻方法沉積在基片表面，分別作為輸入換能器和輸出換能器。其工作原理是輸入換能器將電信號(hào)變成聲信號(hào)，沿晶體表面?zhèn)鞑?，輸出換能器再將接收到的聲信號(hào)變成電信號(hào)輸出。

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『拋光皮』

拋光皮種類：阻尼布拋光皮，聚氨酯拋光皮，白磨皮拋光皮 

『拋光液』

拋光液種類：氧化硅拋光液，氧化鋁拋光液，金剛石拋光液 

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