3C鏡面拋光液用什么拋光液
3C產(chǎn)品表面鏡面拋光一般不采用電解拋光方式,而是選擇CMP機(jī)械拋光工藝。SiO2拋光液用于3C工件的鏡面拋光工藝,主要由納米級磨料制備而成,規(guī)格一般在10nm-150nm拋光后的產(chǎn)品鏡面精度高,表面收光細(xì)膩。
氧化硅精拋液進(jìn)行精拋工藝后,工件可以從霧面提升到鏡面透亮的效果。拋光液配合精拋皮使用,鏡面效果檢測可達(dá)納米級。3C金屬拋光液用于鏡面要求較高的工件拋光,因此必須做好前道工序。先粗拋打好基礎(chǔ),再精拋去除缺陷和不良效果。
有客戶使用二氧化硅拋光液后工件表面會產(chǎn)生麻點,這是由于硅溶膠漿料腐蝕造成的。所以建議大家選擇無腐蝕性的二氧化硅漿料,吉致電子25年拋光液生產(chǎn)廠家,致力于半導(dǎo)體、金屬、3C產(chǎn)品、硅晶圓、光學(xué)晶體CMP拋光工藝的研究和創(chuàng)新,歡迎咨詢更多CMP拋光液知識!
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