您好,歡迎來到吉致電子科技有限公司官網!
收藏本站|在線留言|網站地圖

吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產

訂購熱線:17706168670
熱門搜索: 硅晶圓slurry拋光液氧化硅拋光液集成電路拋光液CMP化學機械拋光液slurry化學機械拋光液
福吉電子采用精密技術,提供超高質量產品
當前位置:首頁 » 全站搜索 » 搜索:sti拋光液
[常見問題]半導體拋光中銅拋光液和鎢拋光液的區(qū)別[ 2023-08-18 16:58 ]
  常用的半導體拋光液,按拋光對象的不同分W鎢拋光液、CU銅拋光液、氧化層拋光液、STI拋光液等。其中銅拋光液slurry主要應用于 130nm 及以下技術節(jié)點邏輯芯片的制造工藝,而鎢拋光液W slurry則大量應用于存儲芯片制造工藝,在邏輯芯片中用量較少。  銅拋光液,主要由腐蝕劑、成膜劑和納米磨料組成。腐蝕劑用來腐蝕溶解銅表面,成膜劑用于形成銅表面的鈍化膜,鈍化膜的形成可以保護腐蝕劑的進一步腐蝕,并可有效地降低金屬表面硬度。除此之外,CMP拋光液中經常添加一些化學試劑以調節(jié)PH值,為拋光過程
http://m.5minute-ebook.com/Article/bdtpgztpgy_1.html3星
記錄總數:0 | 頁數:0