- [行業(yè)資訊]吉致電子 Cu CMP研磨工藝的三個步驟[ 2024-07-31 15:40 ]
- Cu CMP研磨工藝通常包括三步。第一步：用來磨掉晶圓表面的大部分金屬。第二步：通過降低研磨速率的方法精磨與阻擋層接觸的金屬,并通過終點偵測技術(shù)（Endpoint）使研磨停在阻擋層上。第三步：磨掉阻擋層以及少量的介質(zhì)氧化物,并用大量的去離子水（DIW）清洗研磨墊和晶圓。Cu CMP研磨工藝中第一和第二步的研磨液通常是酸性的,使之對阻擋層和介質(zhì)層具有高的選擇性,而第三步的研磨液通常是偏堿性,對不同材料具有不同的選擇性。這兩種研磨液（金屬研磨液/介質(zhì)研磨液）都應(yīng)該含有H2O2、抗腐蝕的BTA（三唑甲基苯）以及其他添加物
-
http://m.5minute-ebook.com/Article/jzdzcucmpy_1.html
相關(guān)搜索
- 無相關(guān)搜索
吉致熱門資訊
-
南京某手機(jī)外殼加工廠 -
上海某精磨玻璃拋光公司
-
廣東硅晶片拋光廠
-
吉致應(yīng)用案例：藍(lán)寶石
-
吉致應(yīng)用案例：陶瓷
-
吉致應(yīng)用案例：鎢鋼
-
吉致資訊第56期：高性價比Leme藍(lán)牙耳機(jī)
-
吉致資訊第64期：畫家的福音“APPLE PENCIL”
-
CMP拋光液的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？
-
吉致資訊第118期：拋光墊性能對拋光液的影響
-
吉致資訊第119期 藍(lán)寶石化學(xué)機(jī)械拋光液作用研究
-
吉致資訊第120期 諾基亞10 MAX長這樣，這設(shè)計有點復(fù)古
-
吉致咨詢第121期 海綿砂紙在模型打磨的應(yīng)用
-
吉致咨詢第122期 拋光液作用和濃度對工件的影響
-
吉致資訊第123期 如何正確選擇合適的拋光液
-
吉致資訊第124期 陶瓷鏡面拋光工藝
-
吉致資訊第125期 如何在研磨工藝中減免劃痕
-
吉致資訊第126期 NASA正在研究混合動力客機(jī)：噪音更低、更省油
-
吉致咨資訊第127期 真人翻譯評訊飛曉譯翻譯機(jī)：晚來10年的“翻譯神器”
-
吉致資訊第128期 iPhone SE二代存在的意義 小尺寸大屏幕成終目
