- [應用案例]藍寶石晶圓研磨拋光[ 2022-12-28 13:57 ]
- 藍寶石晶片拋光的目的是將襯底的最終厚度減小到所需的目標值,具有優(yōu)于+/- 2μm的TTV和小于2nm的表面粗糙度。這些操作要求需要具有高精度,高效率和高穩(wěn)定性的機器和工藝,使用吉致電子藍寶石拋光液和拋光墊進行CMP研磨拋光即可實現(xiàn)這一過程。 通過使用CMP拋光工藝,可以達到理想的表面粗糙度。每個拋光的藍寶石晶片在加工過程中都會有均勻一致的材料去除,并且表面光潔度始終如一。通過改變壓力負載,可以實現(xiàn)每小時1-2μm的材料去除率(MRR)。 藍寶石晶片拋光分為A向拋光和C向拋光。從
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- [客戶感言]廣東硅晶片拋光廠[ 2014-08-21 19:32 ]
- 前幾天采購的拋光液已經(jīng)收到,發(fā)貨速度很快,款打完當天就給我司發(fā)貨了,產(chǎn)品很好,液體均勻沒有沉淀,包裝也很好,值得稱贊的誠信企業(yè),期待長久的合作。謝謝!
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